PofoliaPofolia ile paylaşıldı

Journal of the European Ceramic Society· 2026Q1

Tavlama Koşulları SiC İnce Film Özelliklerini Belirliyor

Impact of annealing parameters on the structural and chemical properties of polymer-derived SiC thin films

P. Parmar, R. Raad, S. Schwarz, G. Pfusterschmied ve diğerleri

Kısa özet

Polimerden türetilmiş SiC ince filmlerin 10 saat veya daha uzun süre 1200°C'de tavlanması, 24 saatlik tavlama ile oksit içeriğinin %100'den %10'a düşmesiyle birlikte polikristalin β-SiC nanokristallerinin oluşumunu teşvik eder.

Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.

Ana noktalar

  • SMP-10 ince filmlerinin 10+ saat süreyle 1200°C'de tavlanması, polikristalin β-SiC nanokristal oluşumuna yol açar.
  • 1 saat tavlanan numuneler tamamen oksit iken, 24 saatlik tavlama %10 oksit içeriği ve Si–C bağları ile sonuçlanmıştır.
  • SMP-10'un çözücü ile seyreltilmesi, ince film evrimini önemli ölçüde etkilememiştir.
  • Tavlama koşulları, öncül konsantrasyonundan ziyade, dönüşümün morfolojisini ve kimyasını kontrol eder.

Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.

Özet (abstract)

This study examines the structural and chemical evolution of the polymer-derived SMP-10 thin films as a function of annealing time and solvent dilution. Increasing annealing times at 1200°C strongly influences thin film morphology and composition. Samples annealed to 5 h remained amorphous, whereas annealing for 10 h and longer led to the formation and growth of circular regions with a polycrystalline microstructure, serving as nucleation sites for β-SiC nanocrystals. Longer annealing times promote continuous oxide reduction, where samples annealed for 1 h consisted entirely of oxides, whereas 24 h annealing led to the development of characteristic Si–C bonds accompanied by an oxide content of 10%. In contrast, SMP-10 dilution had no significant effect on thin film evolution, exhibiting consistent shrinkage of 45-50% after annealing. These results demonstrate that annealing conditions govern thin film morphology and chemistry rather than precursor concentrations during the transformation of SMP-10 into nanocrystalline β-SiC thin films.

Yazarların özeti; kaynağından alınmıştır. Journal of the European Ceramic Society, 2026 · DOI ↗

ÇıkarımlarPremium
Makaleye SorÜcretsiz hesapla

Ücretsiz hesapla devam et

Makaleye Sor ile bu makaleye günde 3 soru ücretsiz; makaleyi kaydet, kaynakçasını al, ilgi alanına göre her gün yeni özetler. Çıkarımlar Premium.

Web'de ücretsiz devam et

Google ya da Apple hesabınla giriş; kart istemez. Bu makaleye geri dönersin.

Telefonda:

Alan: Seramik ve Kompozitler

Ceramics and CompositesMaterials Science