· 2021· Kitap bölümü
İnce Filmlerin Darbeli Lazer Biriktirme (PLD) Yöntemiyle Elde Edilmesi
Pulsed Laser Deposition of Thin Films
- 3.159atıf
- 2021yıl
Kısa özet
Darbeli Lazer Biriktirme (PLD), 1964'teki ilk konsept kanıtından bu yana, kontrollü stokiyometriye sahip çok bileşenli oksit ince filmlerin biriktirilmesi için değerli bir araç haline gelmiştir.
Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.
Ana noktalar
- 1964'te ilk kanıtı sunulan PLD, kontrollü stokiyometriye sahip çok bileşenli oksit ince filmlerin biriktirilmesinde etkilidir.
- Teknik, Yttrium baryum bakır oksit ve Ca-katkılı BaTiO3 gibi malzemelerin biriktirilmesinde başarıyla uygulanmıştır.
- Oksit alt tabakalar, daha iyi kafes uyumu ve termal genleşme gibi nedenlerle nitrür ince film büyümesi için Si ve safire göre avantajlar sunar.
- Oksit reaktivitesi, kolay soyulma yoluyla serbest duran nitrür ince filmlerin üretilmesini kolaylaştırır.
Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.
Özet (abstract)
In 1964 Smith and Turner provided the first ever proof of concept for the pulsed laser deposition (PLD) of thin films. The ability of PLD to deposit multicomponent oxide materials with complex stoichiometry as thin films in a controlled manner quickly evolved PLD into a valuable tool for thin-film ceramic material research. The effect of Ca-doped BaTiO3 polycrystalline thin films deposited on Pt-coated Si substrates using pulsed excimer laser ablation technique is reported by Victor et al. Yttrium barium copper oxide, one of the most prevalent high-temperature superconductors, was one of the first complex materials to be successfully deposited as a thin film by using PLD. Oxide substrates have many advantages over Si and sapphire, including lower lattice mismatch with nitride thin films, less difference in coefficient of thermal expansion, ability to grow non-polar nitride films, and higher reactivity of oxides providing easy peeling of nitride films to obtain freestanding nitride thin films.
Yazarların özeti; kaynağından alınmıştır., 2021 · DOI ↗
Ücretsiz hesapla devam et
Makaleye Sor ile bu makaleye günde 3 soru ücretsiz; makaleyi kaydet, kaynakçasını al, ilgi alanına göre her gün yeni özetler. Çıkarımlar Premium.
Web'de ücretsiz devam etGoogle ya da Apple hesabınla giriş; kart istemez. Bu makaleye geri dönersin.
Telefonda:
Alan: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği
Electrical and Electronic EngineeringEngineering