Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films· 2012Q2
Yüksek Güç Darbeli Mağnetron Saçılama Deşarjı
High power impulse magnetron sputtering discharge
- 745atıf
- Q2SCImago
- 2012yıl
Kısa özet
Yüksek Güç Darbeli Mağnetron Saçılama (HiPIMS), geleneksel saçılmaya kıyasla daha yüksek plazma yoğunluğu ve saçılan buhar iyonizasyonu sağlayarak film büyümesi üzerinde daha iyi kontrol imkanı sunar.
Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.
ÇıkarımlarUygulamada
Ana noktalarUygulamada
Makaleye SorUygulamada
Devamı Pofolia uygulamasında
Çıkarımlar, ana noktalar ve makaleye soru sorma; ilgi alanına göre her gün yeni özetler. Ücretsiz.
Web'de giriş yaparak açAlan: Malzeme Mekaniği
Mechanics of MaterialsEngineering