PofoliaPofolia ile paylaşıldı

ACS Photonics· 2026Q1

Şeffaf İletkenli Isıtıcılar Kullanılarak Silisyum Nitrür Üzerinde Yüksek Dayanıklılığa Sahip, Düşük Kayıplı Sb2Se3 Optik Anahtarlar

High-Endurance, Low-Loss Sb2Se3 Optical Switches on Silicon Nitride Using Transparent Conductive Heaters

Xingshi Yu, Ipsita Chakraborty, Isaac Johnson, Savvas I. Raptis ve diğerleri

Kısa özet

Si3N4 üzerinde Sb2Se3 kullanan yeni bir non-volatile optik anahtar, 140 milyonun üzerinde anahtarlama döngüsü ile entegre fotonik bellek için bir mihenk taşı oluşturdu ve 6 bitten fazla çok seviyeli çalışma sergiledi.

Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.

Ana noktalar

  • Si3N4 platformu üzerinde Sb2Se3 kullanılarak non-volatile bir optik anahtar geliştirildi.
  • 140 milyon anahtarlama döngüsünü aşan bir dayanıklılık elde edildi.
  • Darbe sayısına bağlı kademeli kristalizasyon yoluyla 6 bitten fazla çok seviyeli çalışma gösterildi.
  • Wafer ölçekli bir işlem kullanılarak üretildi, bu da ölçeklenebilir üretim potansiyeline işaret ediyor.

Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.

Özet (abstract)

Abstract We report an electrically actuated, low-loss nonvolatile optical switch based on the phase-change material (PCM) Sb2Se3 integrated on a silicon nitride (Si3N4) platform. The device is fabricated using an 8-in. Wafer-scale process flow, demonstrating the feasibility of scalable manufacturing for photonic integrated circuits (PICs). By employing adaptive voltage and transparent indium tin oxide (ITO) microheaters, reversible switching between the amorphous and crystalline states is achieved with an endurance exceeding 140 million switching cycles, establishing a new benchmark for nonvolatile integrated photonic memory and reconfigurable architectures. Furthermore, multilevel operation beyond 6 bits can be repeatably demonstrated by pulse-count-dependent gradual crystallization, enabling precise control of the optical phase. These results highlight a scalable and energy-efficient platform for high-density programmable and nonvolatile photonic integrated systems.

Yazarların özeti; kaynağından alınmıştır. ACS Photonics, 2026 · DOI ↗

ÇıkarımlarPremium
Makaleye SorÜcretsiz hesapla

Ücretsiz hesapla devam et

Makaleye Sor ile bu makaleye günde 3 soru ücretsiz; makaleyi kaydet, kaynakçasını al, ilgi alanına göre her gün yeni özetler. Çıkarımlar Premium.

Web'de ücretsiz devam et

Google ya da Apple hesabınla giriş; kart istemez. Bu makaleye geri dönersin.

Telefonda:

Google Play'den indir App Store'dan indir

Alan: Malzeme Kimyası

Materials ChemistryMaterials Science