ACS Photonics· 2026Q1
Entegre Karşıt Olmayan Fotonik Cihaz Uygulamaları İçin CO2 Lazer Tavlaması Kullanılarak Si Üzerinde Ce:YIG İnce Filmlerin Lokalize Kristalizasyonu
Localized Crystallization of Ce:YIG Thin Films on Si Using CO2 Laser Annealing for Integrated Nonreciprocal Photonic Device Applications
- 0atıf
- Q1SCImago
- 2026yıl
Kısa özet
CO2 lazer tavlaması, silisyum nitrür dalga kılavuzları üzerinde seriyum katkılı itriyum demir granat (Ce:YIG) filmlerin başarılı bir şekilde kristalize edilmesini sağlayarak, bir Mach-Zehnder İnterferometre optik izolatöründe -2317.7 ± 94.8 deg/cm Faraday rotasyonu ve 27.1 dB izolasyon oranı elde etmiştir.
Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.
Ana noktalar
- CO2 lazer tavlaması, SiO2/Si alt tabakalar ve SiN dalga kılavuzları üzerinde Ce:YIG filmlerin kristalize edilmesi için kullanılmıştır.
- Lazerle tavlanmış Ce:YIG filmlerin manyeto-optik özellikleri, hızlı termal tavlama ile hazırlananlara kıyasla benzer bulunmuştur.
- Ce:YIG filmler üzerinde SiN tabakası kullanılarak bir Mach-Zehnder İnterferometre optik izolatörü üretilmiştir.
- İzolatör, 1552.7 nm dalga boyunda -2317.7 ± 94.8 deg/cm Faraday rotasyonu ve 27.1 dB izolasyon oranı elde etmiştir.
Yapay zekâ ile başlık ve abstract'tan üretildi; tam metin okunmaz.
Özet (abstract)
Abstract Laser annealing (LA) has emerged as an effective method for localized crystallization of magneto-optical (MO) garnet thin films on semiconductor substrates. However, few studies have explored the crystallization and magneto-optical (MO) properties of cerium-substituted yttrium iron garnet (Ce:YIG, Ce1Y2Fe5O12) thin films for integrated photonic device applications using the LA technique. In this study, we provide a comprehensive investigation into the laser annealing of Ce:YIG films deposited on SiO2 substrates and silicon nitride photonic waveguides for integrated nonreciprocal photonic device applications. Garnet phase was successfully observed in films grown on SiO2/Si substrates and SiN waveguides with laser annealing of sputtered Ce:YIG films on top of a laser annealed Y3Fe5O12 seed layer. The magneto-optical (MO) properties of Ce:YIG films on oxidized Si substrates were found to be comparable to those prepared by rapid thermal annealing (RTA). A Mach–Zehnder Interferometer (MZI) type optical isolator based on Ce:YIG film on SiN was fabricated, exhibiting a saturation Faraday rotation of −2317.7 ± 94.8 deg/cm and propagation loss of 188.2 ± 16.5 dB/cm. Isolation ratio of 27.1 dB and insertion loss of 10.1 dB were achieved at 1552.7 nm wavelength.
Yazarların özeti; kaynağından alınmıştır. ACS Photonics, 2026 · DOI ↗
Ücretsiz hesapla devam et
Makaleye Sor ile bu makaleye günde 3 soru ücretsiz; makaleyi kaydet, kaynakçasını al, ilgi alanına göre her gün yeni özetler. Çıkarımlar Premium.
Web'de ücretsiz devam etGoogle ya da Apple hesabınla giriş; kart istemez. Bu makaleye geri dönersin.
Telefonda:
Alan: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği
Electrical and Electronic EngineeringEngineering